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亀井 雅之
Address
305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]

研究内容

Keywords

高速スパッタリング、深さ方向屈折率制御、低温成膜

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

会議録
特許
  • 特許第3742366号 カラーホイールの形成方法 (2005)
  • 特許第4682371号 磁場制御を施した陽極を備えてなる単一電源型スパッタリング装置 (2011)
  • 特許第5669255号 多孔質薄膜が被着された透明基材を製造する方法 (2014)
  • 特開2008290163号 被膜、切削工具および被膜の製造方法 (2008)
  • 特開2005039013号 多孔質金属化合物薄膜の成膜方法及び有機色素増感型太陽電池 (2005)
  • 特開2006052419号 デュアルマグネトロンスパッタリング装置とこの装置を用いて作製された高機能性材料薄膜体およびその製造方法 (2006)
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