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KAMEI, Masayuki
Address
305-0044 1-1 Namiki Tsukuba Ibaraki JAPAN [Access]

Research

Keywords

高速スパッタリング、深さ方向屈折率制御、低温成膜

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

Proceedings
Patents
  • No. 3742366 カラーホイールの形成方法 (2005)
  • No. 4682371 磁場制御を施した陽極を備えてなる単一電源型スパッタリング装置 (2011)
  • No. 5669255 多孔質薄膜が被着された透明基材を製造する方法 (2014)
  • No: 2008290163 被膜、切削工具および被膜の製造方法 (2008)
  • No: 2005039013 多孔質金属化合物薄膜の成膜方法及び有機色素増感型太陽電池 (2005)
  • No: 2006052419 デュアルマグネトロンスパッタリング装置とこの装置を用いて作製された高機能性材料薄膜体およびその製造方法 (2006)
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