publication_type article_identifier title year reported_at patent EP3203494, US200170301512, 3203494 エネルギー弁別電子検出器及びそれを用いた走査電子顕微鏡 2017 2024-04-26 23:46:15 +0900 patent 2015088485 X線源及びこれを用いるX線照射装置並びにX線光電子分光装置 2015 2024-04-26 23:46:15 +0900 patent EP2542035, US20130016813, WO2011122020, 2542035 X線照射装置および分析装置 2013 2024-04-26 23:46:15 +0900