publication_type publication_year number author title event_name doi reported_at Presentation 2024 1 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 色川 芳宏, 宮本 真奈美, 三浦 博美, 小出 康夫, 塚越 一仁 SiO2ダミープロセスを用いたc及びm面のGaN/Al2O3/PtキャパシタのPBS特性の改善 第29回 電子デバイス界面テクノロジー研究会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2023 1 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 色川 芳宏, 宮本 真奈美, 三浦 博美, 小出 康夫, 塚越 一仁 54th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2023 2 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 澤田 朋実, 宮本 真奈美, 三浦 博美, 小出 康夫, 塚越 一仁 2023 International Workshop on Dielectric Thin Films For Future Electron Devices 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2023 3 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 色川 芳宏, 小出 康夫, 塚越 一仁 244th ECS Meeting 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2023 4 澤田 朋実, 生田目 俊秀, 高橋 誠, 伊藤 和博, 色川 芳宏, 小出 康夫, 塚越 一仁 THERMEC 2023 International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2023 5 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 色川 芳宏, 安福 秀幸, 西尾 満章, 川田 哲, 小出 康夫, 塚越 一仁 THERMEC 2023 International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced MaterialsProcessing, Fabrication, Properties, Applications 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2023 6 澤田 朋実, 生田目 俊秀, 高橋 誠, 伊藤 和博, 女屋 崇, 色川 芳宏, 小出 康夫, 塚越 一仁 GaN(0001)基板上でのアモルファスGa2O3膜の熱処理による高配向結晶成長 第28回 電子デバイス界面テクノロジー研究会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2022 1 澤田 朋実, 生田目 俊秀, Makoto Takahashi, Kazuhiro Ito, 女屋 崇, 色川 芳宏, 小出 康夫, 塚越 一仁 MNC2022, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2022 2 生田目 俊秀, 澤田 朋実, Makoto Takahashi, Kazuhiro Ito, 女屋 崇, 色川 芳宏, 小出 康夫, 塚越 一仁 Visual-JW 2022 & DEJI2MA-2 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2022 3 小出 康夫, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 三石 和貴 19th International Conference on Defects - Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors: DRIP XIX 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2021 1 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 井上 万里, 廣瀨 雅史, Ryota Ochi, 澤田 朋実, 色川 芳宏, Tamotsu Hashizume, Koji Shiozaki, Takashi Onaya, 塚越 一仁, 小出 康夫 240th ECS Meeting / https://www.electrochem.org/240/ 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2021 2 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 井上 万里, 廣瀨 雅史, Ryota Ochi, 色川 芳宏, Tamotsu Hashizume, Koji Shiozaki, 小出 康夫 Investigation of HfSiOx gate insulator formed by changing fabrication process conditions for GaN power device AWAD2021 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2021 3 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 井上 万里, Ryota Och, 色川 芳宏, Tamotsu Hashizume, Koji Shiozaki, 小出 康夫 Study of HfSiOx film as gate insulator for GaN power device 20th International Workshop on Junction Technology 2021 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2021 4 生田目 俊秀, 色川 芳宏, Akira Uedono, 大井 暁彦, 池田 直樹, 小出 康夫 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS（THERMEC'2021) 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2020 1 生田目 俊秀, Takashi Onaya, Erika Maeda, Masashi Hirose, 色川 芳宏, Koji Shiozaki, 小出 康夫 Study of ALD HfO2-based high-k for GaN power devices and Ferroelectric devices 20th International conference on Atomic Layer Deposition (ALD/ALE 2020) 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2020 2 狩野 絵美, 三石 和貴, 色川 芳宏, 生田目 俊秀, 木本 浩司, 加地徹, 小出 康夫 GaN方位によるアルミナ結晶化の違い 日本顕微鏡学会第76回学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2020 3 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇 PDA雰囲気ガスがn-β-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響 第67回応用物理学会春季学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2020 4 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇 Al2O3/β-Ga2O3スタック構造のPMA効果と界面特性の関係 電子デバイス界面テクノロジー研究会　ー材料・プロセス・デバイス特性の物理ー 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2020 5 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇 Al2O3/β-Ga2O3スタック構造のPMA効果と界面特性の関係 電子デバイス界面テクノロジー研究会　ー材料・プロセス・デバイス特性の物理ー 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 1 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 塩崎 宏司, 小出 康夫 Electrical properties of GaN MOS capacitors with ALD-High-k gate insulators MATERIALS RESEARCH MEETING 2019 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 2 色川 芳宏 The 2019 International Workshop on “Dielectric Thin Films for Future Electron Devices: Science and Technology” (2019 IWDTF) 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 3 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇 2019 IWDTF 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 4 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 井上 万里, 廣瀨 雅史, 清野肇, 色川 芳宏, 塩崎宏司, 小出 康夫 Characteristics of several High-k gate insulators for GaN power device 236th ECS Meeting 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 5 三石 和貴, 木本 浩司, 色川 芳宏, 生田目 俊秀, 小出 康夫 電子顕微鏡による電子材料評価技術の最近の発展 第 38 回電子材料シンポジウム （EMS38) 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 6 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 池田 直樹, 大井 暁彦, 色川 芳宏, 岩井 秀夫, 安福 秀幸, 川田 哲, 高橋誠, 伊藤和博, 小出 康夫, 清野肇 Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOSキャパシタの熱処理温度による電気特性の変化 第80回応用物理学会秋季学術講演 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 7 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇 Influence of surface cleaning process on initial growth of ALD-Al2O3 and electrical properties of Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOS capacitors ALD2019 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 8 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 弓削 雅津也, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 岩井 秀夫, 安福 秀幸, 川田 哲, 小出 康夫 INFOS 2019 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 9 色川 芳宏 自立GaNエピ基板の表面および酸化膜界面評価 GaNコンソSWG3第6回会合 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 10 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, 上殿 明良, サン リウエン, 小出 康夫, 大石 知司 Influence of post-deposition annealing on interface characteristics at Al2O3/n-GaN " Electron Devices Technology and Manufacturing Conference" 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 11 SEO Okkyun, KIM Jaemyung, HIROI Satoshi, IROKAWA Yoshihiro, NABATAME Toshihide, KOIDE Yasuo, SAKATA Osami Characterization of a GaN wafer and a homo-epitaxial layer by synchrotron X-ray topography techniques The 66th JSAP Spring Meeting, 2019 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 12 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, 上殿明殿, サン リウエン, 小出 康夫, 大石知司 " Al2O3/n-GaN界面での伝導帯/価電子帯近傍の界面準位密度に関する研究" " 膜・表面物理分科会、シリコンテクノロジー分科会" 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2019 13 廣瀨雅史, 生田目俊秀, 大井暁彦, 前田瑛里香, 弓削雅津也, 池田直樹, 色川芳宏, 小出康夫 Al2O3絶縁膜を用いたn-GaN及びn-β-Ga2O3キャパシタの電気特性の比較 第24回電子デバイス界面テクノロジー研究会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 1 キム ジェミョン, ソ オッキュン, ソン チョルホ, 廣井 慧, チェン ヤナ, 色川 芳宏, 生田目 俊秀, 小出 康夫, 坂田 修身 Lattice-plane orientation mapping of 2-inch homo-epitaxial GaN (0001) thin films by grazing incident x-ray diffraction topography IWN 2018 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 2 色川 芳宏, 三石 和貴, 生田目 俊秀, 木本 浩司, 小出 康夫 International Workshop on Nitride Semiconductors 2018 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 3 生田目 俊秀, 色川 芳宏, Koji Shiozaki, 小出 康夫 Study of High-k gate insulator for GaN power device by atomic layer deposition 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 4 色川 芳宏, 三石 和貴, 鈴木 拓, 弓削 雅津也, 大井 暁彦, 生田目 俊秀, 大西 剛, 木本 浩司, 小出 康夫 Comprehensive Study of Native Oxides on GaN(0001) International Workshop on Nitride Semiconductors 2018 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 5 坂田 修身, キム ジェミョン, ソ オッキュン, ソン チョルホ, チェン ヤナ, 廣井 慧, 色川 芳宏, 生田目 俊秀, 小出 康夫 ホモエピタキシャルGaN (0001)格子面の方位マッピング 日本結晶学会2018年度年会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 6 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 弓削 雅津也, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 色川 芳宏, 小出 康夫, 池田 直樹 表面処理方法がβ-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響 第79回応用物理学会秋季学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 7 キム ジェミョン, ソ オッキュン, ソン チョルホ, 廣井 慧, チェン ヤナ, 色川 芳宏, 生田目 俊秀, 小出 康夫, 坂田 修身 Lattice-plane orientation mapping of 2-inch homo-epitaxial GaN (0001) thin films by grazing incident x-ray diffraction topography JSAP Autumn Meeting 2018 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 8 色川 芳宏, 鈴木 拓, 弓削 雅津也, 大井 暁彦, 生田目 俊秀, 木本 浩司, 大西 剛, 三石 和貴, 小出 康夫 GaN(0001)自然酸化膜の複合的評価 第79回応用物理学会秋季学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 9 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 弓削 雅津也, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 色川 芳宏, 小出 康夫, 池田 直樹 表面処理方法がβ-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響 第79回応用物理学会秋季学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 10 小出 康夫, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 三石 和貴 GaN系絶縁膜制御技術 応用物理学会 特別シンポジウム：GaNのエピタキシャル成長とデバイス 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 11 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, 上殿 明良, サン リウエン, 小出 康夫, 大石 知司 光支援C-V法を用いたAl2O3/n-GaN界面ディープトラップの分析 Solid State Devices and Materials 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 12 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, サン リウエン, 小出 康夫, 大石知司 Al2O3/n-GaNキャパシタの自然酸化膜層が電気特性へ及ぼす影響 シリコン材料・デバイス研究会 (SDM) 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 13 小出 康夫, 坂田 修身, 渡邊 賢司, 三石 和貴, 生田目 俊秀, 色川 芳宏 p-GaN中の結晶欠陥の複合的な評価 応用物理学会 結晶工学分科　会第１４９回結晶工学分科会研究会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 14 弓削 雅津也, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, サン リウエン, 大石知司, 小出 康夫 Role of a native oxide interlayer on electrical characteristics of Al2O3/n-GaN capacitors Joint ISTDM/ISCI 2018 Conference 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2018 15 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, サン リウエン, 知京 豊裕, 小出 康夫, 大石 知司 Al2O3/n-GaNキャパシタの酸化ガリウム界面層が電気特性へ及ぼす影響 第65回応用物理学会春季学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2017 1 色川 芳宏, 鈴木 拓, 弓削 雅津也, 大井 暁彦, 生田目 俊秀, 木本 浩司, 大西 剛, 三石 和貴, 小出 康夫 Surface analysis of native oxides on GaN(0001): An LEIS and RHEED study 第18回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2017 2 色川 芳宏, 三石 和貴 窒化ガリウムトランジスタに原子レベルで平坦な結晶層を新発見 電気学会「次世代化合物半導体デバイスの機能と応用(第2期)」調査専 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2017 3 色川 芳宏 水素とGaNデバイスの相互作用機構の研究 第16回 GaN研究戦略会議＿研究WG 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2016 1 色川 芳宏 Electrochemical Impedance Spectroscopy Study of Hydrogen Interaction with Nitride-Based Semiconductor Diodes 10th International Symposium on EIS 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2016 2 色川 芳宏 半導体デバイス型水素センサの動作機構の研究 第63回応用物理学会春季学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2015 1 色川 芳宏 半導体デバイスを用いた水素センサーの動作機構の解明 NIMS ナノシミュレーション ワークショップ 2015 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2013 1 Y. Naknao, 色川 芳宏, 角谷 正友, Y. Sumida, S. Yagi, H. Kawai 2013 MRS Fall meeting 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2013 2 大島 祐一, 中村 優, 色川 芳宏, 正義彦, ビジョラ ガルシア, 島村 清史, 一ノ瀬昇 昇華法によるAlN単結晶の育成と評価 第51回セラミックス基礎科学討論会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2012 1 色川芳宏 IEEE SENSORS 2012 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2012 2 色川芳宏 ECSCRM-2012 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2011 1 色川 芳宏 NIMS-LG seminar 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2011 2 色川 芳宏 Nano Korea 2011 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2011 3 色川芳宏 26th International Conference on Defects in Semiconductors 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 1 中野　由崇, 中村圭二, 色川 芳宏, 竹口 雅樹 8th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-8) 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 2 色川芳宏 The 8th International Conference on Nitride Semiconductors 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 3 MATSUKI, Nobuyuki, Yoshitaka Nakano, IROKAWA, Yoshihiro, SUMIYA, Masatomo π共役高分子/III族窒化物へテロ構造によるショットキー接合の電気的界面構造 SSDM 2009 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 4 中野由崇, 中村圭二, 色川 芳宏, 竹口 雅樹 13th International Conference on Defects - Recognition, Imaging 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 5 松木 伸行, 中野由崇, 色川 芳宏, ミカエル・ロザック, 迫田 和彰, 角谷 正友 透明導電性高分子／III族窒化物半導体ショットキー型太陽電池の界面構造 応用物理学会　2009年秋季第70回学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 6 中野由崇, 中村圭二, 色川 芳宏, 竹口 雅樹 8th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 7 MATSUKI, Nobuyuki, IROKAWA, Yoshihiro, SUMIYA, Masatomo III-V族窒化物と透明 第28回電子材料シンポジウム(EMS28) 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 8 松木 伸行, 色川 芳宏, 中野, 角谷 正友 透明導電性高分子とIII族窒化物半導体によるヘテロ接合太陽電池 第6回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 9 松木 伸行, 色川 芳宏, 角谷 正友 透明導電性高分子と窒化物薄膜の接合による太陽電池の開発 第1回窒化物半導体結晶成長講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 10 中野　由崇, 色川 芳宏, 竹口 雅樹 AlGaN/GaNヘテロ構造の界面電子物性評価 2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2009 11 松木 伸行, 色川 芳宏, 伊高 健治, 鯉沼 秀臣, 角谷 正友 導電性透明高分子／GaN接合によるショットキー型太陽電池の開発 平成21年春季第56回応用物理学関係連合講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2008 1 中野由崇, 色川 芳宏, 竹口 雅樹 Al0.3Ga0.7N/GaNヘテロ構造のDLOS評価 2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2008 2 色川 芳宏 窒化物系半導体を用いた耐環境性水素ガスセンサーの研究 双葉電子記念財団　第14回自然科学研究助成成果発表会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2008 3 竹口 雅樹, 奥野 華子, 色川 芳宏, 佐久間 芳樹, 古屋 一夫 AlInGaN/GaNのHAADF-STEMと電子線ホログラフィーによる評価 日本顕微鏡学会第64回学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2008 4 竹口 雅樹, 奥野 華子, 色川 芳宏, 佐久間 芳樹, 古屋 一夫 AlGaN/GaNヘテロ界面における二次元電子ガスの電子線ホログラフィー観察 第55回応用物理学会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2007 1 奥野 華子, 竹口 雅樹, 三石 和貴, 色川 芳宏, 佐久間 芳樹, 古屋 一夫 III族窒化物半導体のTEM/STEM観察 平成19年度ＮＩＭＳナノ計測センター研究成果発表会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2007 2 IROKAWA, Yoshihiro, SAKUMA, Yoshiki, SEKIGUCHI, Takashi Effects of Surface States on Hydrogen Sensing Performance of Pt-GaN Schottky Diodes The 34th International Symposium on Compound Semiconductors 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2007 3 奥野 華子, 竹口 雅樹, 三石 和貴, 色川 芳宏, 佐久間 芳樹, 古屋 一夫 III族窒化物半導体のHAADF-STEM観察 2007年秋季　第68回学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2007 4 奥野 華子, 竹口 雅樹, 三石 和貴, 郭 行健, 色川 芳宏, 佐久間 芳樹, 古屋 一夫 GaN系材料のZコントラストイメージング NIMS conference 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2007 5 竹口 雅樹, 奥野 華子, 古屋 一夫, 色川 芳宏 電子線ホログラフィーによるGaN系材料のへテロナノ構造の電界測定 日本顕微鏡学会第63回学術講演会 2024-04-17 00:49:27 +0900 Presentation 2007 6 IROKAWA, Yoshihiro High Temperature Annealing Behavior of Si Implanted GaN 2nd IAMF and ICYS Workshop 2024-04-17 00:49:27 +0900