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Research content

Keywords

薄膜・表面界面物性 設計工学・機械機能要素・トライボロジー 材料加工・処理

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

Research paper
Books
Proceedings
Patents
  • No. 6008320 コンビナトリアル成膜装置 (2016)
  • No. 6008321 蒸着用シャッター装置及びこれを用いた成膜装置 (2016)
  • No. 5891464 ZnOコーティング、それを作製する方法及びそれの利用方法 (2016)

Society membership

全米材料学会 全米真空協会 日本トライボロジー学会 日本応用物理学会 日本金属学会

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