SAMURAI - NIMS Researchers Database

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研究内容

Keywords

Surface stress, Thin film, Sensing,

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

研究論文
書籍
会議録
口頭発表
特許
  • 特許第4930940号 薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置 (2012)
  • 特許第3572358号 表面欠陥検出方法およびその装置 (2004)
  • 特許第3864213号 酸化膜ストレス緩和方法及びその方法を用いた酸化膜構成体 (2006)

所属学会

日本表面科学会、日本真空学会、日本物理学会

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第二期開発予定
第二期開発予定

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