- Address
- 305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
Hydrogen permeation, Surface stress, Thin film, Sensing,
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
公開特許出願
所属学会
日本表面科学会、日本真空学会、日本物理学会
この機能は所内限定です。
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Hydrogen permeation, Surface stress, Thin film, Sensing,
日本表面科学会、日本真空学会、日本物理学会