SAMURAI - NIMS Researchers Database

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外部併任先

  • 公益財団法人 日本バレーボール協会

研究内容

Keywords

走査型プローブ顕微鏡、標準化、表面科学、半導体物理学

走査型プローブ顕微鏡法を用いた半導体微小部のキャリア濃度計測と校正法の確立

走査型プローブ顕微鏡法(Scanning Probe Microscopy: SPM)を用い、半導体材料の微小部におけるキャリア濃度計測[1,2]や、炭素材料から金属材料までの微小部における表面電位計測を行い、それらの校正法の確立と標準化のための研究[1]を行っている。

References
[1] Takaya Fujita, Koji Matsumura, Hiroshi Itoh and Daisuke Fujita, “Analytical procedure for experimental quantification of carrier concentration in semiconductor devices by using electric scanning probe microscopy”, Meas. Sci. Technol., 25 (2014) 044021.
[2] Koji Matsumura, Takaya Fujita, Hiroshi Itoh and Daisuke Fujita, “Characterization of carrier concentration by CIGS solar cell by scanning capacitance microscopy”, Meas Sci. Technol., 25 (2014) 044020.

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

口頭発表

所属学会

応用物理学会, 日本表面科学会

第二期開発予定
第二期開発予定

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