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論文・分野から探す
最終更新時刻: 2026-01-17 04:33:12 +0900
| 1件の論文が見つかりました。論文は出版年月日順に表示しています。（ヘルプ） | |
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| Yasushi Akasaka, SHIRAISHI, Kenji, UMEZAWA, Naoto, O. Ogata, T. Kasuya, CHIKYOW, Toyohiro, F. Ootsuka, Yasuo Nara, N. Nakamura. A Novel Remote Reactive Sink Layer Technique for the Control of N and O Concentrations in Metal/High-k Gate Stacks. 2006 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers. (2006) 3-4 | |
