Role of hetero interface of ionic/covalent oxides for Pt/high-k/SiO2/Si MOS capacitors on Vfb shift
(Pt/high-k/SiO2/Si MOSキャパシタにおけるイオン性/共有結合性酸化物のヘテロ界面がVfbシフトへ果たす役割)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-27 01:53:34 +0900更新時刻: 2024-04-01 23:12:07 +0900