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著者名CHEN, Bin, CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, Akimasa Kinishita, Hirofumi Matsuhata, Hirotaka Yamaguchi, Ichirou Nagai, Hajime Okumura.
タイトルElectron-Beam Induced Current Study of Electrical activity of dislocations in 4H-SiC homoepitaxial films
発表誌名JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS
発表年2008
言語English

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