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著者名NAGATA, Takahiro, PARHAT, AHMET, YAMAUCHI, Yasushi, SAKUMA, Yoshiki, SEKIGUCHI, Takashi, CHIKYOW, Toyohiro.
タイトルThree-Dimensional GaN Nano Structure Fabrication by Focused Ion Beam Chemical Vapor Deposition
発表誌名NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
発表年2006
言語English

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