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著者名Youhei Kakefuda, YAMASHITA, Yoshiyuki, Kozo Mukai, Jun Yoshinobu.
タイトルFabrication and Analysis of Buried Iron Silicide Microstructures Using a Focused Low Energy Electron Beam
(収束低速電子線を用いたミクロサイズの鉄シリサイドの作製と物性評価)
発表誌名SURFACE SCIENCE
発表年2007
言語English

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