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シードキャストシリコンインゴット中の残留歪の評価
(Characterization of residual strain in seed-cast grown Si)
2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会. 2013.
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Created at: 2017-02-14 11:05:33 +0900Updated at: 2017-07-10 21:32:36 +0900