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著者名JIPTNER, Karolin, HARADA, Hirofumi, LI, Jian-Yong, MIYAMURA, Yoshiji, PRAKASH, Ronit Roneel, SEKIGUCHI, Takashi.
タイトルFormation of SiC and Si3N4 particles in directional solidification Si-growth
会議名Joint Seminar for Eelectronic Materials (JSEM) 2011
発表年2011
言語English
外部での文献参照

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