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Si2H6を用いたSiナノワイヤー成長における基板温度と圧力の影響
(Effect of substrate temperature and gas pressure on formation of Si nano-wire with Si2H6)

著者鈴木 裕, 荒木 弘, 土佐 正弘, 野田 哲二.
会議名日本金属学会2007年春期大会
発表年2007
言語Japanese

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