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著者名小野寺 尚志, 閻 紀旺, 伊藤 俊, 関口 隆史.
タイトルナノ構造を有するSi切りくずの熱処理効果
(The effect of anneal for nanostructured Si chips)
会議名2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会
発表年2010
言語Japanese
外部での文献参照

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