形状記憶合金薄膜アクチュエータの進展
(PROGRESS IN THIN-FILM SHAPE-MEMORY-ALLOY ACTUATORS)
センサ、アクチュエータ、MEMSに関する国際会議(TRANSDUCER13). 2013. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:22:01 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:44:29 +0900