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著者名石田 章, 佐藤 守夫.
タイトル基板加熱によって作製したTi-Ni-Cu形状記憶合金薄膜アクチュエータ
(Ti-Ni-Cu thin-film SMA actuators formed on heated substrates by sputtering)
会議名日本金属学会2007年度秋期大会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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