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イオン注入した GaN の光熱偏向分光法による評価

福田 清貴, 尾沼猛儀, 山口智広, 本田徹, 岩井 秀夫, サン リウエン, 角谷 正友.
第65回応用物理学会春季学術講演会. 2018.

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    Created at: 2018-04-03 22:38:39 +0900Updated at: 2018-06-05 14:19:35 +0900

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