種結晶を用いて一方向凝固法で作製したシリコン基板の評価
(Evaluation of crystalline silicon substrate grown by seeding cast method)
2011年春季第58回応用物理学会学術講演会. 2011.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:42:32 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:12:08 +0900