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著者名山崎 隆浩, 田島 暢夫, 小山洋, 奈良 純, 清水達雄, 加藤弘一, 大野 隆央.
タイトル酸素分子による4H-SiC表面酸化の動的シミュレーションおよび第一原理解析
(Dynamical Simulations of O2 Oxidation Processes on 4H-SiC Surfaces and First-Principles Analyses)
会議名先進パワー半導体分科会 第1回講演会
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

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