フルシリサイドゲートのためのＮｉＳｉ形成反応のその場ＴＥＭ観察
(In-situ TEM observation of Ni-silicide formation for FUSI gate)
第６７回応用物理学会学術講演会. 2006年08月29日-2006年09月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:33:22 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:44:17 +0900