HOME > Presentation > Detail急峻なサブスレッショルドスロープを持つALD-AlOx ゲート絶縁膜アモルファス相川 慎也, 木津 たきお, 生田目 俊秀, 塚越 一仁. 第78回応用物理学会秋季学術講演会. September 05, 2017-September 08, 2017.NIMS author(s)NABATAME, ToshihideTSUKAGOSHI, KazuhitoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-08-02 22:30:44 +0900 Updated at: 2018-06-05 14:11:28 +0900