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Understanding of carrier transport in MOS device with high-k gate dielectric: an electron-beam-induced current study of leakage sites

陳 君, 関口 隆史, 高瀬 雅美, 深田 直樹, 知京 豊裕, 蓮沼隆, 山部紀久夫, 佐藤基之, 奈良安雄, 山田啓作.
2008 International Workshop on Dielectric Thin Films (IWDTF-08). 2008.

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    作成時刻: 2017-02-14 11:27:17 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:19:20 +0900

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