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InGaAs表面の亜セレン酸溶液処理によるMISFET特性改善
(Wet treatment of InGaAs surfaces by selenite adsorption for improved MISFET performances)

卜部友二, 安田哲二, 宮田典幸, 前田辰郎, 大竹 晃浩, 市川麿, 福原昇, 秦雅彦, 横山正史, 田岡紀之, 竹中充, 高木信一.
2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会. 2011.

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    Created at: 2017-01-08 04:32:20 +0900Updated at: 2017-07-10 21:06:50 +0900

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