HOME > Presentation > Detail
ガス流制御マルチホロープラズマによる光安定アモルファスSi作製
(Growth of stable amorphous Si films using gas flow-controlled RF multi-hollow plasma)
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会. March 17, 2010-March 20, 2010.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-01-08 04:46:00 +0900Updated at: 2017-07-10 20:43:28 +0900