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準安定相Ga2O3のハライド気相成長
(HVPE of Meta-stable Ga2O3)
ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第１６２委員会 第113回 研究会. 2019. Invited
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Created at: 2019-05-24 03:00:37 +0900Updated at: 2024-03-05 12:21:03 +0900