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準安定相Ga2O3のハライド気相成長
(HVPE of Meta-stable Ga2O3)
| Author(s) | 大島 祐一. |
|---|---|
| Event name | ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第１６２委員会 第113回 研究会 |
| Year of publication | 2019 |
| Language | Japanese |
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| Author(s) | 大島 祐一. |
|---|---|
| Event name | ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第１６２委員会 第113回 研究会 |
| Year of publication | 2019 |
| Language | Japanese |