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プラズマCVD法SiC薄膜形成におけるガス組成の影響

鈴木 裕, 荒木 弘, 楊 文, 野田 哲二.
日本金属学会2004年秋期大会. 2004.

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    Created at: 2017-01-08 04:43:46 +0900Updated at: 2017-07-10 19:05:48 +0900

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