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著者名大野 隆央.
タイトル次世代半導体集積素子におけるカーボン系ナノ構造プロセスシミュレーションに関する研究開発
会議名文部科学省HPCI戦略プログラム分野4、第2回「次世代ものづくり」シ
発表年2011
言語Japanese
外部での文献参照

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