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SiナノワイヤへのPイオン注入
(P-ion implantation in Si nanowires)

石田 慎哉, 齋藤直之, 横野茂輝, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010.

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    Created at: 2017-02-14 11:31:28 +0900Updated at: 2017-07-10 20:42:29 +0900

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