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著者名李 雄, 渡辺 健太郎, 熊谷 和博, 関口 隆史.
タイトルSEM/CLを用いたHVPE-GaN厚膜中のピット型欠陥
会議名日本顕微鏡学会
発表年2012
言語Japanese
外部での文献参照

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