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NIMS材料技術展示会2023 - NIMS Technology Showcase2023 10/11

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表面熱析出法を用いた 単原子層h-BN薄膜/LaB6ヘテロ構造の作製とその評価

著者長岡 克己, 相澤 俊, 大見俊一郎.
会議名シリコン材料・デバイス研究専門委員会(プロセス科学と新プロセス技術 )
発表年2022
言語Japanese

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