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著者名渡辺 健太郎, 馬場 正和, 関口 隆史, 山根 久典, 末益 崇.
タイトルProbe-EBIC法によるSi(111)基板上BaSi2薄膜の接合・結晶粒評価
(Characterization of junctions and grains in BaSi2 thin film grown on Si(111) substrate by probe-EBIC technique)
会議名2013年春季<第60回>応用物理学会
発表年2013
言語Japanese
外部での文献参照

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