SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > Presentation > Detail

SPRを用いた酸化物半導体薄膜の気相化学種センシング機能評価

羽田 肇, 松尾直人, 大垣 武, 大橋 直樹, 坂口 勲, 菱田 俊一, 飛田達也.
2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会. March 27, 2008-March 30, 2008.

NIMS author(s)


Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)


    Created at: 2017-02-14 11:21:38 +0900 Updated at: 2017-07-10 20:10:20 +0900

    ▲ Go to the top of this page