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著者名白石賢二, 山田啓作, 斎藤 峯雄, 大野 隆央, 有門経敏.
タイトル高誘電率絶縁膜HfO2中の炭素不純物の原子構造と電子構造:第一原理計算による考察
会議名応用物理学会 簿膜・表面物理分科会・シリコンテクノロジー分科会共
発表年2004
言語Japanese
外部での文献参照

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