HOME > 口頭発表 > 書誌詳細形状記憶合金薄膜を用いた垂直方向駆動マイクロアクチュエータ篠部晃生, 吉川弥, 田畑修, 石田 章. 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム. 2004.NIMS著者石田 章Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 10:56:33 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:02:49 +0900
