AlxGa1-xN系薄膜の放射光軟X線顕微光電子分光法による非破壊電子状態分析
(Non-destructive spectral analysis of AlxGa1-xN filmsby synchrotron soft X-ray photoelectron spectromicroscopy)
2022年第69回応用物理学会春季学術講演会. 2022.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-04-12 03:25:25 +0900更新時刻: 2022-04-12 03:25:25 +0900