HOME > Presentation > Detail
EBIC法を用いた次世代Si系材料の研究-歪Si薄膜のミスフィット転位の観察・high-k膜のリーク評価
Invited
第116回KASTECセミナー. 2007. NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at :2017-02-14 11:38:01 +0900 Updated at :2024-03-05 11:41:25 +0900