HOME > 口頭発表 > 書誌詳細形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ(Vertical Drive Micro Actuator for Haptic Display Using Shape Memory Alloy Thin Film)吉川弥, 篠部晃生, 田畑修, 石田 章. 平成17年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会. 2005.NIMS著者石田 章Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-01-08 04:19:40 +0900 更新時刻 :2017-07-10 19:19:38 +0900