SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

マイクロ波プラズマCVDによる炭素薄膜の合成

島田 健太郎, 蒲生 秀典, 蒲生 美香, 中川 清晴, 柴崎 健, 安藤 寿浩.
第113回表面技術協会講演大会. 2006.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2017-01-08 04:14:28 +0900 更新時刻 :2017-07-10 19:35:57 +0900

    ▲ページトップへ移動