HOME > Published patent applications > Detail[Published patent application] シリコンナノ結晶材料の製造方法及び該製造方法で製造されたシリコンナノ結晶材料2007-08-30. 2007216369 (Google Patents) , 5137095NIMS author(s)FUKATA, NaokiCreated at :2023-07-22 21:45:11 +0900 Updated at :2023-07-22 21:45:11 +0900