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集束イオンビームCVD法によるGaN立体構造の作製と評価

著者長田 貴弘, 佐久間 芳樹, 関口 隆史, 知京 豊裕.
掲載誌名BULLETIN OF THE JAPAN ELECTRONIC MATERIALS SOCIETY(日本電子材料技術協会会報) 37 37-39
出版社
出版年2006
言語Japanese

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