集束イオンビームＣＶＤ法によるＧａＮ立体構造の作製と評価

著者	長田貴弘, 佐久間芳樹, 関口隆史, 知京豊裕.
掲載誌名	BULLETIN OF THE JAPAN ELECTRONIC MATERIALS SOCIETY(日本電子材料技術協会会報) 37 37-39
出版社
出版年	2006
言語	Japanese