HOME > Article > Detailグロー放電法による窒化物薄膜の作成上村揚一郎. 金属表面技術 10. 1978.NIMS author(s)Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2022-09-05 10:20:34 +0900 Updated at: 2022-09-05 10:20:34 +0900