A High-Current Negative-Ion Implanter and its Application for Nanocrystal Fabrication in Insulators
(大電流負イオン注入装置およびその絶縁体中ナノ結晶生成への応用)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-11-15 00:39:20 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:39:20 +0900