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Orientation Dependency of Dislocation Generation in Si Growth Process

著者Karolin Jiptner, Yoshiji Miyamura, Bing Gao, Hirofumi Harada, Koichi Kakimoto, Takashi Sekiguchi.
掲載誌名Solid State Phenomena 242 15-20
ISSN: 16629779
出版社Trans Tech Publications
発表年2015
言語English
DOIhttps://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.242.15
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