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著者名Karolin Jiptner, Hirofumi Harada, Yoshiji Miyamura, Masayuki Fukuzawa, Takashi Sekiguchi.
タイトルEffect of Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> Coating on Strain and Fracture of Si Ingots
掲載誌名Materials Science Forum 725 247 250
発表年2012
言語English
DOI10.4028/www.scientific.net/msf.725.247
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