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著者名板倉 明子.
タイトル真空部品と可動機構
(Vacuum Components and Movable Mechanism)
掲載誌名Journal of the Vacuum Society of Japan 58 [8] 282-291
ISSN: 18824749 05598516 18822398
発表年2015
言語Japanese
DOI10.3131/jvsj2.58.282
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