HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 結晶性SiC膜の製造法1994-02-15. 特開H06041750号 (Google Patents) , 特許2090572号NIMS著者鈴木 裕阿部 冨士雄作成時刻 :2023-07-22 21:44:29 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:29 +0900
