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[公開特許出願] 表面の平坦性および結晶構造の完全性に優れたGaSb/InAs/Si(111)構造とその形成方法、並びにその構造を用いたMOSデバイスおよび赤外線検出デバイス

2015-03-30. 特開2015061025号 (Google Patents) , 特許6153224号

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:45:44 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:44 +0900

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