HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 高純度同位体シリコン結晶膜の製造方法2000-12-12. 特開2000345342号 (Google Patents) , 特許3401561号NIMS著者鈴木 裕作成時刻 :2023-07-22 21:44:40 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:40 +0900
